Nanogranular SnO₂ layers for gas sensing applications by in-situ deposition of nanoparticles produced by the Karlsruhe microwave plasma process

Schumacher, B. ¹; Ochs, R. ¹; Tröße, H. ¹; Schlabach, S.

¹; Bruns, M. ¹; Szabo, D. V.

¹; Haußelt, J. ¹
¹ Institut für Meteorologie und Klimaforschung Troposphärenforschung (IMKTRO), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

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DOI: 10.5445/IR/110068275

Veröffentlicht am 04.07.2022

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DOI: 10.1002/ppap.200732101

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2007
Sprache	Englisch
Identifikator	ISSN: 1612-8850, 1612-8869 urn:nbn:de:swb:90-AAA1100682752 KITopen-ID: 110068275
HGF-Programm	43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing
Erschienen in	Plasma processes and polymers
Verlag	Wiley-VCH Verlag
Band	4
Seiten	S865-S870
Nachgewiesen in	Dimensions Scopus Web of Science