Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2007 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110068407 |
HGF-Programm | 43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology A |
Band | 25 |
Seiten | 927-31 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |