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Piezoelectric microvalve

Ramanamurthy, P.V.M.; Ahrens, R.; Karmalkar, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110068618
HGF-Programm 43.01.06 (POF I, LK 01)
Erschienen in Indian Journal of Pure and Applied Physics
Band 45
Seiten 278-81
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