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New materials for micro-scale sensors and actuators. An engineering review

Wilson, S. A.; Jourdain, R. P. J.; Zhang, Q.; Dorey, R. A.; Bowen, C. R.; Willander, M.; Ul Wahab, Q.; Willander, M.; Al-hilli, S. M.; Nur, O.; Quandt, E.; Johansson, C.; Pagounis, E.; Kohl, M. 1; Matovic, J.; Samel, B.; Wijngaart, W. van der; Jager, E. W. H.; Carlsson, D.; ... mehr


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.mser.2007.03.001
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Zitationen: 453
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Zitationen: 394
Dimensions
Zitationen: 413
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0927-796X, 1879-212X
KITopen-ID: 110068756
HGF-Programm 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erschienen in Materials science and engineering / R
Verlag Elsevier
Band 56
Heft 1-6
Seiten 1-129
Nachgewiesen in Dimensions
Web of Science
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