New materials for micro-scale sensors and actuators. An engineering review

Wilson, S. A.; Jourdain, R. P. J.; Zhang, Q.; Dorey, R. A.; Bowen, C. R.; Willander, M.; Ul Wahab, Q.; Willander, M.; Al-hilli, S. M.; Nur, O.; Quandt, E.; Johansson, C.; Pagounis, E.; Kohl, M.; Matovic, J.; Samel, B.; Wijngaart, W. van der; Jager, E. W. H.; Carlsson, D.; Djinovic, Z.; Wegener, M.; Moldovan, C.; Iosub, R.; Abad, E.; Wendlandt, M.; Rusu, C.; Persson, K.

doi:10.1016/j.mser.2007.03.001

New materials for micro-scale sensors and actuators. An engineering review

Wilson, S. A.; Jourdain, R. P. J.; Zhang, Q.; Dorey, R. A.; Bowen, C. R.; Willander, M.; Ul Wahab, Q.; Willander, M.; Al-hilli, S. M.; Nur, O.; Quandt, E.; Johansson, C.; Pagounis, E.; Kohl, M. ¹; Matovic, J.; Samel, B.; Wijngaart, W. van der; Jager, E. W. H.; Carlsson, D.; ... mehr

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2007
Sprache	Englisch
Identifikator	ISSN: 0927-796X, 1879-212X KITopen-ID: 110068756
HGF-Programm	43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erschienen in	Materials science and engineering / R
Verlag	Elsevier
Band	56
Heft	1-6
Seiten	1-129
Nachgewiesen in	Web of Science Scopus Dimensions

Repository KITopen

New materials for micro-scale sensors and actuators. An engineering review