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Focused ion beam microscopy and micromachining

Volkert, C.A.; Minor, A.M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110069117
HGF-Programm 43.01.05 (POF I, LK 01)
Erschienen in MRS Bulletin
Band 32
Seiten 389-95
Externe Relationen Abstract/Volltext
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