Soft magnetic FeCo TaN film cores for new high-frequency CMOS compatible micro-inductors
Seemann, K.
1; Leiste, H. 1; Ziebert, C.
1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
1; Leiste, H. 1; Ziebert, C.
11 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110069198 |
| HGF-Programm | 43.03.08 (POF I, LK 01) Magnetische Eigenschaften |
| Erschienen in | Journal of Magnetism and Magnetic Materials |
| Band | 316 |
| Seiten | e879-e882 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |