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Soft magnetic FeCo TaN film cores for new high-frequency CMOS compatible micro-inductors

Seemann, K. ORCID iD icon 1; Leiste, H. 1; Ziebert, C. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.jmmm.2007.03.126
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Zitationen: 22
Web of Science
Zitationen: 23
Dimensions
Zitationen: 24
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110069198
HGF-Programm 43.03.08 (POF I, LK 01) Magnetische Eigenschaften
Erschienen in Journal of Magnetism and Magnetic Materials
Band 316
Seiten e879-e882
Nachgewiesen in Scopus
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