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Synchrotron-radiation computed laminography for high-resolution three-dimensional imaging of flat devices

Helfen, L. 1,2; Myagotin, A. 2; Rack, A. 2; Pernot, P. 2; Mikulik, P.; DiMichiel, M.; Baumbach, T. 1,2
1 Universität Karlsruhe (TH)
2 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1002/pssa.200775676
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Zitationen: 64
Web of Science
Zitationen: 56
Dimensions
Zitationen: 56
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110069681
HGF-Programm 55.51.21 (POF I, LK 02) SpecialFeatures im ANKA-Labor Röntgent.
Erschienen in Physica status solidi (a)
Band 204
Seiten 2760-65
Nachgewiesen in Dimensions
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