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Synchrotron-radiation computed laminography for high-resolution three-dimensional imaging of flat devices

Helfen, L.; Myagotin, A.; Rack, A.; Pernot, P.; Mikulik, P.; DiMichiel, M.; Baumbach, T.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1002/pssa.200775676
Scopus
Zitationen: 53
Web of Science
Zitationen: 47
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110069681
HGF-Programm 55.51.21 (POF I, LK 02)
Erschienen in Physica status solidi (a)
Band 204
Seiten 2760-65
Nachgewiesen in Web of Science
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