Transfer bonding technology for batch fabrication of SMA microactuators
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110071805 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Erschienen in | European Physical Journal - Special Topics |
| Band | 158 |
| Seiten | 237-42 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |