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Transfer bonding technology for batch fabrication of SMA microactuators

Grund, T.; Guerre, R.; Despont, M.; Kohl, M.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1140/epjst/e2008-00681-3
Scopus
Zitationen: 29
Web of Science
Zitationen: 24
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110071805
HGF-Programm 43.01.06 (POF I, LK 01)
Erschienen in European Physical Journal - Special Topics
Band 158
Seiten 237-42
Nachgewiesen in Scopus
Web of Science
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