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NiMnGa nanostructures produced by electron beam lithography and Ar-ion etching

Auernhammer, D. 1; Schmitt, M. 1; Ohtsuka, M.; Kohl, M. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1140/epjst/e2008-00683-1
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Zitationen: 7
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Zitationen: 6
Dimensions
Zitationen: 7
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110072007
HGF-Programm 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erschienen in European Physical Journal - Special Topics
Band 158
Seiten 249-54
Nachgewiesen in Dimensions
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