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Silicon carbonitrides: on the attainability of stable compounds with high nitrogen content

Rudolphi, M.; Baumann, H.; Geckle, U.; Bruns, M.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/1.2924331
Scopus
Zitationen: 3
Web of Science
Zitationen: 3
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110072083
HGF-Programm 43.03.06 (POF I, LK 01)
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Band 26
Seiten 1018-22
Nachgewiesen in Scopus
Web of Science
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