Silicon carbonitrides: on the attainability of stable compounds with high nitrogen content
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110072083 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology A |
| Band | 26 |
| Seiten | 1018-22 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |