Replication technologies for HARM devices. Status and perspectives
Piotter, V. 1; Bauer, W.
1; Hanemann, T. 1; Heckele, M.; Mueller, C.
1 3D Matter Made to Order (3DMM2O), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Hanemann, T. 1; Heckele, M.; Mueller, C.1 3D Matter Made to Order (3DMM2O), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110072436 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 14 |
| Seiten | 1599-1605 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |