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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-008-0572-9
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Zitationen: 31
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Zitationen: 22

Replication technologies for HARM devices. Status and perspectives

Piotter, V.; Bauer, W.; Hanemann, T.; Heckele, M.; Mueller, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110072436
HGF-Programm 43.01.03 (POF I, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 14
Seiten 1599-1605
Nachgewiesen in Web of Science
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