Hot embossing of microoptical components prototyped by deep proton writing
Erps, J. van; Wissmann, M.; Guttmann, M.
; Hartmann, M.; Mohr, J.; Debaes, C.; Thienpont, H.
; Hartmann, M.; Mohr, J.; Debaes, C.; Thienpont, H.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110072440 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Erschienen in | IEEE Photonics Technology Letters |
| Band | 20 |
| Seiten | 1539-41 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science OpenAlex Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |