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Hot embossing of microoptical components prototyped by deep proton writing

van Erps, J.; Wissmann, M.; Guttmann, M.; Hartmann, M.; Mohr, J.; Debaes, C.; Thienpont, H.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/LPT.2008.928836
Scopus
Zitationen: 35
Web of Science
Zitationen: 29
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110072440
HGF-Programm 43.01.03 (POF I, LK 01)
Erschienen in IEEE Photonics Technology Letters
Band 20
Seiten 1539-41
Nachgewiesen in Scopus
Web of Science
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