KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz
Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-007-0503-1
Web of Science
Zitationen: 19

Why you will use the deep X-ray LIG(A) technology to produce MEMS?

Meyer, P.; Schulz, J.; Hahn, L.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110072598
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 14
Seiten 1491-97
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page