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Why you will use the deep X-ray LIG(A) technology to produce MEMS?

Meyer, P. 1; Schulz, J. 1; Hahn, L. 1; Saile, V. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-007-0503-1
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Dimensions
Zitationen: 23
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110072598
HGF-Programm 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 14
Seiten 1491-97
Nachgewiesen in Dimensions
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