Why you will use the deep X-ray LIG(A) technology to produce MEMS?
Meyer, P. 1; Schulz, J.
1; Hahn, L. 1; Saile, V. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Hahn, L. 1; Saile, V. 11 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110072598 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 14 |
| Seiten | 1491-97 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |