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Stiction issues and actuation of RF LIGA-MEMS variable capacitors

Haluzan, D.; Klymyshyn, D.; Börner, M. 1; Achenbach, S. 1; Wells, G.; Mappes, T. 1; Mohr, J. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-008-0583-6
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Zitationen: 5
Dimensions
Zitationen: 4
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110072622
HGF-Programm 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 14
Seiten 1709-14
Nachgewiesen in Dimensions
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