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Stiction issues and actuation of RF LIGA-MEMS variable capacitors

Haluzan, D.; Klymyshyn, D.; Börner, M.; Achenbach, S.; Wells, G.; Mappes, T.; Mohr, J.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-008-0583-6
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Zitationen: 4
Web of Science
Zitationen: 4
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110072622
HGF-Programm 43.04.04 (POF I, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 14
Seiten 1709-14
Nachgewiesen in Web of Science
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