Stiction issues and actuation of RF LIGA-MEMS variable capacitors
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110072622 |
| HGF-Programm | 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 14 |
| Seiten | 1709-14 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |