Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Synchrotronstrahlung (ISS) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2008 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110072623 |
HGF-Programm | 43.01.01 (POF I, LK 01) Lithographie |
Erschienen in | European Physical Journal - Special Topics |
Band | 158 |
Seiten | 99-105 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |