Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2008 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110072628 |
HGF-Programm | 43.01.05 (POF I, LK 01) Charakterisierung u.Zuverlässigkeit |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 14 |
Seiten | 767-73 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |