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Measurement of side walls of high aspect ratio microstructures

Simon, M. 1; Reznikova, E. 1; Nazmov, V. 1; Last, A. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-008-0618-z
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Dimensions
Zitationen: 2
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110072630
HGF-Programm 43.04.03 (POF I, LK 01) Röntgenoptik
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 14
Seiten 1727-29
Nachgewiesen in Dimensions
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