Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2008 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110072630 |
HGF-Programm | 43.04.03 (POF I, LK 01) Röntgenoptik |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 14 |
Seiten | 1727-29 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |