Measurement of side walls of high aspect ratio microstructures
Simon, M. 1; Reznikova, E. 1; Nazmov, V. 1; Last, A.
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1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
11 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110072630 |
| HGF-Programm | 43.04.03 (POF I, LK 01) Röntgenoptik |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 14 |
| Seiten | 1727-29 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus OpenAlex |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |