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Measurement of side walls of high aspect ratio microstructures

Simon, M.; Reznikova, E.; Nazmov, V.; Last, A.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-008-0618-z
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Zitationen: 2
Web of Science
Zitationen: 2
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110072630
HGF-Programm 43.04.03 (POF I, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 14
Seiten 1727-29
Nachgewiesen in Web of Science
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