Reflectivity test of X-ray mirrors for deep X-ray lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110072631 |
| HGF-Programm | 43.04.03 (POF I, LK 01) Röntgenoptik |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 14 |
| Seiten | 1299-1303 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |