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Reflectivity test of X-ray mirrors for deep X-ray lithography

Nazmov, V. 1; Reznikova, E. 2; Last, A. 2; Börner, M. 2; Mohr, J. 2
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Universität Karlsruhe (TH)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-008-0581-8
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Zitationen: 3
Web of Science
Zitationen: 3
Dimensions
Zitationen: 3
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110072631
HGF-Programm 43.04.03 (POF I, LK 01) Röntgenoptik
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 14
Seiten 1299-1303
Nachgewiesen in Web of Science
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