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Submicron polymer structures with X-ray lithography and hot embossing

Mappes, T.; Worgull, M.; Heckele, M.; Mohr, J.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-007-0499-6
Scopus
Zitationen: 28
Web of Science
Zitationen: 29
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110072632
HGF-Programm 43.04.04 (POF I, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 14
Seiten 1721-25
Nachgewiesen in Web of Science
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