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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-007-0499-6
Web of Science
Zitationen: 27

Submicron polymer structures with X-ray lithography and hot embossing

Mappes, T.; Worgull, M.; Heckele, M.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110072632
HGF-Programm 43.04.04; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 14
Seiten 1721-25
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