Submicron-scale surface acoustic wave resonators fabricated by high aspect ratio X-ray lithography and aluminum lift-off
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110072634 |
| HGF-Programm | 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 14 |
| Seiten | 1715-19 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |