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Soft X-ray lithography of high aspect ratio SU8 submicron structures

Reznikova, E. 1; Mohr, J. 1; Boerner, M. 1; Nazmov, V. 1; Jakobs, P. J. 2
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-007-0507-x
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Zitationen: 99
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Zitationen: 92
Dimensions
Zitationen: 92
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110072688
HGF-Programm 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 14
Seiten 1683-88
Nachgewiesen in Dimensions
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