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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-007-0507-x
Web of Science
Zitationen: 81

Soft X-ray lithography of high aspect ratio SU8 submicron structures

Reznikova, E.; Mohr, J.; Boerner, M.; Nazmov, V.; Jakobs, P.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110072688
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 14
Seiten 1683-88
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