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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-007-0507-x
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Zitationen: 86
Web of Science
Zitationen: 83

Soft X-ray lithography of high aspect ratio SU8 submicron structures

Reznikova, E.; Mohr, J.; Boerner, M.; Nazmov, V.; Jakobs, P.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110072688
HGF-Programm 43.01.06 (POF I, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 14
Seiten 1683-88
Nachgewiesen in Web of Science
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