Soft X-ray lithography of high aspect ratio SU8 submicron structures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110072688 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 14 |
| Seiten | 1683-88 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |