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Modeling of large area hot embossing

Worgull, M. 1; Kabanemi, K. K.; Marcotte, J. P.; Hetu, J. F.; Heckele, M. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-007-0493-z
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Zitationen: 19
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Zitationen: 21
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Zitationen: 19
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110072690
HGF-Programm 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 14
Seiten 1061-66
Nachgewiesen in Web of Science
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