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Investigation of birefringence in PMMA channel waveguides inscribed with DUV radiation

Golojuch, G.; Hollenbach, U. 1; Mappes, T. 1; Mohr, J. 1; Urbanczyk, A.; Urbanczyk, W.
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0957-0233/19/2/025304
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Zitationen: 8
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Zitationen: 7
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110072874
HGF-Programm 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Erschienen in Measurement Science and Technology
Band 19
Seiten 025304/1-6
Nachgewiesen in Web of Science
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