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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.surfcoat.2008.04.083
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Zitationen: 32
Web of Science
Zitationen: 27

Magnetron sputtering of hard Cr-Al-N-O thin films

Stüber, M.; Albers, U.; Leiste, H.; Seemann, K.; Ziebert, C.; Ulrich, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110073130
HGF-Programm 43.03.06 (POF I, LK 01)
Erschienen in Surface and Coatings Technology
Band 203
Seiten 661-65
Nachgewiesen in Web of Science
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