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Magnetron sputtering of hard Cr-Al-N-O thin films

Stüber, M. 1; Albers, U. 1; Leiste, H. 1; Seemann, K. ORCID iD icon 1; Ziebert, C. ORCID iD icon 1; Ulrich, S. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.surfcoat.2008.04.083
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Zitationen: 42
Web of Science
Zitationen: 36
Dimensions
Zitationen: 36
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110073130
HGF-Programm 43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing
Erschienen in Surface and Coatings Technology
Band 203
Seiten 661-65
Nachgewiesen in Dimensions
Web of Science
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