Magnetron sputtering of hard Cr-Al-N-O thin films
Stüber, M. 1; Albers, U. 1; Leiste, H. 1; Seemann, K.
1; Ziebert, C.
1; Ulrich, S. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
1; Ziebert, C.
1; Ulrich, S. 11 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110073130 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Erschienen in | Surface and Coatings Technology |
| Band | 203 |
| Seiten | 661-65 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |