An ultra-deep high-Q microwave cavity resonator fabricated using deep X-ray lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110073168 |
| HGF-Programm | 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme |
| Erschienen in | IEICE Transactions on Electronics |
| Seiten | 2192-97 |
| Erscheinungsvermerk | E90-C(2007) |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions |