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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1093/ietele/e90-c.12.2192
Web of Science
Zitationen: 5

An ultra-deep high-Q microwave cavity resonator fabricated using deep X-ray lithography

Ma, Z.; Klymyshyn, D.M.; Achenbach, S.; Börner, M.; Dambrowsky, N.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110073168
HGF-Programm 43.04.04; LK 01
Erschienen in IEICE Transactions on Electronics
Seiten 2192-97
Erscheinungsvermerk E90-C(2007)
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