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Manufacturing of microstructures with high aspect ratio by micromachining

Gietzelt, T. ORCID iD icon 1; Eichhorn, L. 1; Schubert, K. 1
1 Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-007-0535-6
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Zitationen: 10
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Zitationen: 8
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076, 1432-1858
KITopen-ID: 110073214
HGF-Programm 43.01.02 (POF I, LK 01) Strukturierung
Erschienen in Microsystem technologies
Verlag Springer
Band 14
Seiten 1525-1529
Externe Relationen Abstract/Volltext
Nachgewiesen in Dimensions
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