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Manufacturing of microstructures with high aspect ratio by micromachining

Gietzelt, T.; Eichhorn, L.; Schubert, K.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-007-0535-6
Scopus
Zitationen: 8
Web of Science
Zitationen: 9
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110073214
HGF-Programm 43.01.02 (POF I, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 14
Seiten 1525-29
Nachgewiesen in Web of Science
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