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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-007-0535-6
Web of Science
Zitationen: 9

Manufacturing of microstructures with high aspect ratio by micromachining

Gietzelt, T.; Eichhorn, L.; Schubert, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110073214
HGF-Programm 43.01.02; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 14
Seiten 1525-29
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