Manufacturing of microstructures with high aspect ratio by micromachining
Gietzelt, T.
1; Eichhorn, L. 1; Schubert, K. 1
1 Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Eichhorn, L. 1; Schubert, K. 11 Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 110073214 |
| HGF-Programm | 43.01.02 (POF I, LK 01) Strukturierung |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 14 |
| Seiten | 1525-1529 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |