Relationship of chemical and structural properties with the tribological behavior of sputtered SiCN films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110073637 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Erschienen in | Surface and Coatings Technology |
| Band | 202 |
| Seiten | 5567-71 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |