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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.surfcoat.2008.06.126
Web of Science
Zitationen: 26

Relationship of chemical and structural properties with the tribological behavior of sputtered SiCN films

Hoche, H.; Allebrandt, D.; Bruns, M.; Riedel, R.; Fasel, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110073637
HGF-Programm 43.03.06; LK 01
Erschienen in Surface and Coatings Technology
Band 202
Seiten 5567-71
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