White beam topography of 300 mm Si-wafers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Synchrotronstrahlung (ISS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110074281 |
| HGF-Programm | 55.51.10 (POF I, LK 02) Betrieb und Entw.d.ANKA Beaml.u.Nutzers. |
| Erschienen in | Journal of Materials Science: Materials in Electronics |
| Band | 19 |
| Seiten | 269-72 |
| Erscheinungsvermerk | Suppl.1 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |