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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0957-0233/20/2/025107
Web of Science
Zitationen: 2

Metrology study of high precision mm parts made by the deep x-ray lithography (LIGA) technique

Mäder, O.; Meyer, P.; Saile, V.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110074994
HGF-Programm 43.01.06 (POF II, LK 01)
Erschienen in Measurement Science and Technology
Band 20
Seiten 025107/1-7
Nachgewiesen in Web of Science
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