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Laser patterning and packaging of CCD-CE-Chips made of PMMA

Pfleging, W. 1; Kohler, R. 1; Schierjott, P. 2; Hoffmann, W. 2
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.snb.2009.01.036
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Zitationen: 20
Web of Science
Zitationen: 15
Dimensions
Zitationen: 17
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110075195
HGF-Programm 43.01.02 (POF II, LK 01) Strukturierung
Erschienen in Sensors and Actuators B
Band 138
Seiten 336-43
Nachgewiesen in Web of Science
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