Laser patterning and packaging of CCD-CE-Chips made of PMMA
Pfleging, W.
1; Kohler, R. 1; Schierjott, P. 2; Hoffmann, W. 2
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Kohler, R. 1; Schierjott, P. 2; Hoffmann, W. 21 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110075195 |
| HGF-Programm | 43.01.02 (POF II, LK 01) Strukturierung |
| Erschienen in | Sensors and Actuators B |
| Band | 138 |
| Seiten | 336-43 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus OpenAlex Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |