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Laser patterning and packaging of CCD-CE-Chips made of PMMA

Pfleging, W.; Kohler, R.; Schierjott, P.; Hoffmann, W.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.snb.2009.01.036
Scopus
Zitationen: 18
Web of Science
Zitationen: 15
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110075195
HGF-Programm 43.01.02 (POF II, LK 01)
Erschienen in Sensors and Actuators B
Band 138
Seiten 336-43
Nachgewiesen in Scopus
Web of Science
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