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A micro flow sensor from a polymer for gases and liquids

Ahrens, R. 1; Schlote-Holubek, K. 2
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Prozessdatenverarbeitung und Elektronik (IPE), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0960-1317/19/7/074006
Scopus
Zitationen: 30
Web of Science
Zitationen: 30
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Prozessdatenverarbeitung und Elektronik (IPE)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110075685
HGF-Programm 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 19
Seiten 074006/1-6
Nachgewiesen in Scopus
Web of Science
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