| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Prozessdatenverarbeitung und Elektronik (IPE) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110075685 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Band | 19 |
| Seiten | 074006/1-6 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus OpenAlex Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |