Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Prozessdatenverarbeitung und Elektronik (IPE) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2009 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110075685 |
HGF-Programm | 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
Band | 19 |
Seiten | 074006/1-6 |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |