| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110075737 |
| HGF-Programm | 43.01.02 (POF II, LK 01) Strukturierung |
| Erschienen in | Microelectronics Journal |
| Band | 40 |
| Seiten | 681-86 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus OpenAlex |