Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2009 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110075737 |
HGF-Programm | 43.01.02 (POF II, LK 01) Strukturierung |
Erschienen in | Microelectronics Journal |
Band | 40 |
Seiten | 681-86 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |