Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2009 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110075894 |
HGF-Programm | 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 15 |
Seiten | 1327-33 |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |