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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-008-0744-7
Web of Science
Zitationen: 10

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Worgull, M.; Heckele, M.; Mappes, T.; Matthis, B.; Tosello, G.; Metz, T.; Gavillet, J.; Koltay, P.; Hansen, H.N.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110075894
HGF-Programm 43.01.03; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 15
Seiten 1327-33
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