Stress reduction of cubic boron nitride films by oxygen addition
Ye, J. 1; Ulrich, S. 1; Ziebert, C.
1; Stüber, M. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
1; Stüber, M. 11 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsdatum | 01.12.2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0040-6090, 1879-2731 KITopen-ID: 110076214 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Erschienen in | Thin solid films |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 517 |
| Heft | 3 |
| Seiten | 1151-1155 |
| Erscheinungsvermerk | (2008) |
| Vorab online veröffentlicht am | 24.07.2008 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |