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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.tsf.2008.07.019
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Zitationen: 23

Stress reduction of cubic boron nitride films by oxygen addition

Ye, J.; Ulrich, S.; Ziebert, C.; Stüber, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0040-6090, 1879-2731
KITopen ID: 110076214
HGF-Programm 43.03.06; LK 01
Erschienen in Thin solid films
Band 517
Heft 3
Seiten 1151-1155
Erscheinungsvermerk (2008)
Vorab online veröffentlicht am 24.07.2008
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