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Stress reduction of cubic boron nitride films by oxygen addition

Ye, J. 1; Ulrich, S. 1; Ziebert, C. 1; Stüber, M. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.tsf.2008.07.019
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Zitationen: 31
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Zitationen: 26
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsdatum 01.12.2008
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0040-6090, 1879-2731
KITopen-ID: 110076214
HGF-Programm 43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing
Erschienen in Thin solid films
Verlag Elsevier
Band 517
Heft 3
Seiten 1151-1155
Erscheinungsvermerk (2008)
Vorab online veröffentlicht am 24.07.2008
Nachgewiesen in Scopus
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