Monoclinic B-phase erbium sesquioxide (Er₂O₃) thin films by filtered cathodic arc deposition
Adelhelm, C.; Pickert, T.; Balden, M.; Rasinski, M.; Plocinski, T.; Ziebert, C.
1; Koch, F.; Maier, H.
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Koch, F.; Maier, H.1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110076255 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF II, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Erschienen in | Scripta Materialia |
| Band | 61 |
| Seiten | 789-92 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |