Thermal stability of electrodeposited LIGA Ni-W alloys for high temperature MEMS applications
Haj-Taieb, M. 1; Haseeb, A. S. M. A. 2; Caulfield, J.; Bade, K.
2; Aktaa, J. 1; Hemker, K. J.
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2; Aktaa, J. 1; Hemker, K. J.1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 10.2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 110076780 |
| HGF-Programm | 43.01.05 (POF I, LK 01) Charakterisierung u.Zuverlässigkeit |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 14 |
| Heft | 9-11 |
| Seiten | 1531-1536 |
| Erscheinungsvermerk | (2008) |
| Vorab online veröffentlicht am | 28.05.2008 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |