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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-007-0536-5
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Zitationen: 28
Web of Science
Zitationen: 23

Thermal stability of electrodeposited LIGA Ni-W alloys for high temperature MEMS applications

Haj-Taieb, M.; Haseeb, A.S.M.A.; Caulfield, J.; Bade, K.; Aktaa, J.; Hemker, K.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076, 1432-1858
KITopen ID: 110076780
HGF-Programm 43.01.05; LK 01
Erschienen in Microsystem technologies
Band 14
Heft 9-11
Seiten 1531-1536
Erscheinungsvermerk (2008)
Vorab online veröffentlicht am 28.05.2008
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