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Thermal stability of electrodeposited LIGA Ni-W alloys for high temperature MEMS applications

Haj-Taieb, M. 1; Haseeb, A. S. M. A. 2; Caulfield, J.; Bade, K. 2; Aktaa, J. 1; Hemker, K. J.
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-007-0536-5
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Zitationen: 38
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Zitationen: 32
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 10.2008
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076, 1432-1858
KITopen-ID: 110076780
HGF-Programm 43.01.05 (POF I, LK 01) Charakterisierung u.Zuverlässigkeit
Erschienen in Microsystem technologies
Verlag Springer
Band 14
Heft 9-11
Seiten 1531-1536
Erscheinungsvermerk (2008)
Vorab online veröffentlicht am 28.05.2008
Nachgewiesen in Scopus
Web of Science
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