Visualization of the development process in deep X-ray lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110076837 |
| HGF-Programm | 43.04.03 (POF II, LK 01) Röntgenoptik |
| Erschienen in | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A |
| Band | 603 |
| Seiten | 153-56 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |