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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.nima.2008.12.148
Web of Science
Zitationen: 1

Visualization of the development process in deep X-ray lithography

Nazmov, V.; Mohr, J.; Reznikova, E.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110076837
HGF-Programm 43.04.03 (POF II, LK 01)
Erschienen in Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A
Band 603
Seiten 153-56
Nachgewiesen in Web of Science
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