Bandpass filters made by LIGA for the THz region: manufacturing and testing
Nazmov, V. 1; Reznikova, E. 1; Mathis, Y. L.; Mathuni, J.; Müller, A.
2; Rudych, P. 2; Last, A. 1; Saile, V. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2; Rudych, P. 2; Last, A. 1; Saile, V. 11 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Synchrotronstrahlung (ISS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110076838 |
| HGF-Programm | 43.04.03 (POF II, LK 01) Röntgenoptik |
| Erschienen in | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A |
| Band | 603 |
| Seiten | 150-52 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |