Si diffusion in magnetron sputtered silicon carbide films deposited on silicon and carbon substrates
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110076996 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF II, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Erschienen in | Thin Solid Films |
| Band | 518 |
| Seiten | 396-98 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |