Polymer Derived Ceramics in MEMS/NEMS - A Review on Production Processes and Application
Schulz, M.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1743-6753, 0967-9782, 1743-2766, 1743-6761 KITopen-ID: 110077140 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF II, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Erschienen in | Advances in applied ceramics |
| Verlag | Taylor and Francis |
| Band | 108 |
| Seiten | 454-60 |