KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Polymer derived ceramics in MEMS/NEMS - a review on production processes and application

Schulz, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110077140
HGF-Programm 43.03.06; LK 01
Erschienen in Advances in Applied Ceramics
Band 108
Seiten 454-60
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page