Polymer derived ceramics in MEMS/NEMS - a review on production processes and application
Schulz, M.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110077140 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF II, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Erschienen in | Advances in Applied Ceramics |
| Band | 108 |
| Seiten | 454-60 |