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Polymer derived ceramics in MEMS/NEMS - a review on production processes and application

Schulz, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110077140
HGF-Programm 43.03.06 (POF II, LK 01)
Erschienen in Advances in Applied Ceramics
Band 108
Seiten 454-60
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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