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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0957-0233/20/8/084024
Web of Science
Zitationen: 3

Comparison of measurement methods for microsystem components: application to microstructures made by the deep x-ray lithography process (x-ray LIGA)

Meyer, P.; Mäder, O.; Saile, V.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110077272
HGF-Programm 43.01.06 (POF II, LK 01)
Erschienen in Measurement Science and Technology
Band 20
Seiten 084024/1-5
Nachgewiesen in Web of Science
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