Comparison of measurement methods for microsystem components: application to microstructures made by the deep x-ray lithography process (x-ray LIGA)
Meyer, P. 1; Mäder, O. 2; Saile, V. 1; Schulz, J.
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1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Technische Physik (ITEP), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
11 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Technische Physik (ITEP), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110077272 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Erschienen in | Measurement Science and Technology |
| Band | 20 |
| Seiten | 084024/1-5 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |