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Comparison of measurement methods for microsystem components: application to microstructures made by the deep x-ray lithography process (x-ray LIGA)

Meyer, P. 1; Mäder, O. 2; Saile, V. 1; Schulz, J. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Technische Physik (ITEP), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0957-0233/20/8/084024
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Zitationen: 7
Web of Science
Zitationen: 3
Dimensions
Zitationen: 4
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110077272
HGF-Programm 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erschienen in Measurement Science and Technology
Band 20
Seiten 084024/1-5
Nachgewiesen in Dimensions
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