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Fatigue behavior of thin Au and Al films on polycarbonate and polymethylmethacrylate for micro-optical components

Eve, S. 1; Huber, N. 1; Last, A. 2; Kraft, O. 1
1 Institut für Meteorologie und Klimaforschung Troposphärenforschung (IMKTRO), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.tsf.2008.12.018
Scopus
Zitationen: 27
Web of Science
Zitationen: 22
Dimensions
Zitationen: 26
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110077550
HGF-Programm 43.01.05 (POF II, LK 01) Charakterisierung u.Zuverlässigkeit
Erschienen in Thin Solid Films
Band 517
Seiten 2702-07
Nachgewiesen in Scopus
Dimensions
Web of Science
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