Magnetron sputter deposition of low-stress, carbon-containing cubic boron nitride films using Ar-N₂-CH₄ gas mixtures
Ulrich, S. 1; Ye, J. 1; Stüber, M. 1; Ziebert, C.
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1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
11 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110078026 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF II, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Erschienen in | Thin Solid Films |
| Band | 518 |
| Seiten | 1455-58 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |