Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2010 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110078376 |
HGF-Programm | 43.03.06 (POF II, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
Erschienen in | Microelectronic Engineering |
Band | 87 |
Seiten | 15-19 |
Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions OpenAlex |