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Deep X-ray lithography processing for batch fabrication of thick polymer-based antenna structures

Rashidian, A.; Klymyshyn, D.M.; Boerner, M.; Mohr, J.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0960-1317/20/2/025026
Scopus
Zitationen: 18
Web of Science
Zitationen: 10
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110078735
HGF-Programm 43.01.06 (POF II, LK 01)
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 20
Seiten 025026/1-11
Nachgewiesen in Web of Science
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