Deep X-ray lithography processing for batch fabrication of thick polymer-based antenna structures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110078735 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Band | 20 |
| Seiten | 025026/1-11 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |