KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Sputter deposition of nanocrystalline β-SiC films and molecular dynamics simulations of the sputter process

Ziebert, C.; Ye, J.; Ulrich, S.; Prskalo, A.P.; Schmauder, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1166/jnn.2010.1842
KITopen ID: 110078767
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erschienen in Journal of Nanoscience and Nanotechnology
Band 10
Seiten 1120-28
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page