Sputter deposition of nanocrystalline β-SiC films and molecular dynamics simulations of the sputter process
Ziebert, C.
1; Ye, J. 1; Ulrich, S. 1; Prskalo, A. P.; Schmauder, S.
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Ye, J. 1; Ulrich, S. 1; Prskalo, A. P.; Schmauder, S.1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110078767 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erschienen in | Journal of Nanoscience and Nanotechnology |
| Band | 10 |
| Seiten | 1120-28 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |