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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.surfcoat.2009.09.043
Web of Science
Zitationen: 16

Molecular dynamics simulations of the sputtering of SiC and Si₃N₄

Prskalo, A.P.; Schmauder, S.; Ziebert, C.; Ye, J.; Ulrich, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110078768
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erschienen in Surface and Coatings Technology
Band 204
Seiten 2081-84
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