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Molecular dynamics simulations of the sputtering of SiC and Si₃N₄

Prskalo, A. P.; Schmauder, S.; Ziebert, C. 1; Ye, J. 1; Ulrich, S. 1
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.surfcoat.2009.09.043
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Zitationen: 23
Web of Science
Zitationen: 21
Dimensions
Zitationen: 22
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110078768
HGF-Programm 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials
Erschienen in Surface and Coatings Technology
Band 204
Seiten 2081-84
Nachgewiesen in Web of Science
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