KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Molecular dynamics simulations of the sputtering of SiC and Si₃N₄

Prskalo, A.P.; Schmauder, S.; Ziebert, C.; Ye, J.; Ulrich, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1016/j.surfcoat.2009.09.043
KITopen ID: 110078768
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erschienen in Surface and Coatings Technology
Band 204
Seiten 2081-84
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page