Molecular dynamics simulations of the sputtering of SiC and Si₃N₄
Prskalo, A. P.; Schmauder, S.; Ziebert, C.
1; Ye, J. 1; Ulrich, S. 1
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Ye, J. 1; Ulrich, S. 11 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110078768 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erschienen in | Surface and Coatings Technology |
| Band | 204 |
| Seiten | 2081-84 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |