| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2746, 2166-2754 KITopen-ID: 110078868 |
| HGF-Programm | 43.03.09 (POF II, LK 01) Mechanische Eigenschaften |
| Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / B |
| Verlag | American Vacuum Society |
| Band | 28 |
| Heft | 3 |
| Seiten | C4E1-C4E11 |
| Nachgewiesen in | Web of Science OpenAlex Scopus Dimensions |