Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2010 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2746, 2166-2754 KITopen-ID: 110078868 |
HGF-Programm | 43.03.09 (POF II, LK 01) Mechanische Eigenschaften |
Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / B |
Verlag | American Vacuum Society |
Band | 28 |
Heft | 3 |
Seiten | C4E1-C4E11 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |