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Hot punching on an 8 inch substrate as an alternative technology to produce holes on a large scale

Rapp, B.E.; Schneider, M.; Worgull, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1007/s00542-009-0943-x
KITopen ID: 110079211
HGF-Programm 47.01.03; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 16
Seiten 1201-06
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