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Hot punching on an 8 inch substrate as an alternative technology to produce holes on a large scale

Rapp, B. E. 1; Schneider, M. 1; Worgull, M. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-009-0943-x
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Zitationen: 8
Web of Science
Zitationen: 6
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Zitationen: 7
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110079211
HGF-Programm 47.01.03 (POF II, LK 01) Biologische Schlüselmoleküle IMT
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 16
Seiten 1201-06
Nachgewiesen in Web of Science
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