Hot punching on an 8 inch substrate as an alternative technology to produce holes on a large scale
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110079211 |
| HGF-Programm | 47.01.03 (POF II, LK 01) Biologische Schlüselmoleküle IMT |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 16 |
| Seiten | 1201-06 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |