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X-ray fabrication of SAW resonators with narrow electrodes in thick high-aspect-ratio polymer templates

Klymyshyn, D.M.; Mappes, T.; Achenbach, S.; Kachayev, A.; Börner, M.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1088/0960-1317/20/7/075031
KITopen ID: 110079613
HGF-Programm 43.13.01; LK 01
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 20
Seiten 075031/1-6
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