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X-ray fabrication of SAW resonators with narrow electrodes in thick high-aspect-ratio polymer templates

Klymyshyn, D. M.; Mappes, T. 1; Achenbach, S.; Kachayev, A.; Börner, M. 1; Mohr, J. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0960-1317/20/7/075031
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Zitationen: 3
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Zitationen: 3
Dimensions
Zitationen: 4
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110079613
HGF-Programm 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 20
Seiten 075031/1-6
Nachgewiesen in Dimensions
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