X-ray fabrication of SAW resonators with narrow electrodes in thick high-aspect-ratio polymer templates
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110079613 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Band | 20 |
| Seiten | 075031/1-6 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus OpenAlex |